高壓段抽速快;能耗可降低30%;自循環(huán)冷卻系統(tǒng),能使用在無冷卻水的系統(tǒng)環(huán)境;可提供符合ATEX標(biāo)準(zhǔn)的產(chǎn)品。
● 真空鍍膜、真空焊接、電子束焊接、顯示器和玻璃鍍膜、濺射鍍膜、離子鍍、光學(xué)鍍膜等
● 單晶爐、多晶爐、真空熱處理爐、燒結(jié)爐、退火爐、淬火爐等
● 真空干燥、冷凍干燥、檢漏設(shè)備及系統(tǒng)、氣體回收系統(tǒng)、液晶注入等
● 太陽能、薄膜太陽能、晶硅太陽能、耐磨涂層技術(shù)等
抽氣速度(50/60Hz)Pumping Speed(50/60Hz) |
17500/21000 l/min | |
1050/1260 m3/h | ||
618/742 CFM | ||
極限壓力(Ultimate Pressure) | ≤7.5x10-4 Torr | |
≤1.010-3 mbar | ||
≤1.0 Pa | ||
水冷密封馬達(dá)(Canned Motor) | 頻率 Frequency | 50/60 Hz |
電壓Voltage | 220~440 V | |
額定功率Rated Power | 6+6/4.47+4.47 HP/Kw | |
連接口(Connection) | 進(jìn)氣口 Inlet | ISO160(bolted) |
排氣口 Outlet | NW40 | |
冷卻水 Cooling Water | 壓力 Pressure | 2.0~4.0 kg/cm2 |
流量 Min. Flow | 3L/min 15℃ | |
溫度 Temp. | 7L/min 30℃ | |
接頭 Connection | RC3/8" | |
氮?dú)?N2 | 壓力 Pressure | 0.15~0.2 Mpa |
稀釋流量 Dilute Flow | 0~60 L/min | |
密封流量 Sealing Flow | 0~20 L/min | |
接頭 Connection | Swagelok 1/4" | |
尺寸 Dimension | 長x寬x高 | 920430x957 mm |
重量 Weight | 540 Kg | |
噪音 Noise | <70 dB(A) | |
控制介面 Control | SEMI E73-0299 | |
系統(tǒng)最大漏率 System Max. Leak-rate | 1.0/10-5 mbar.l/s | |
室溫操作范圍 Operation Temp. | 5℃~40℃ | |
操作濕度 Operation Moisture | 90%以下 |